인천대학교 신소재공학과의 이한보람 교수와 아주대학교 오일권 교수 연구팀이 협력하여 전자현미경 장비의 핵심 기술을 개발하고, 이를 반도체 및 디스플레이 전문 장비 회사 씨엔원에 총 11억 7500만원에 기술이전하는 데 성공했다. 이 기술은 세밀한 측정을 위한 3차원 전도성 코팅 방법에 관한 것으로, 반도체 연구 및 개발에 큰 기여를 할 것으로 기대된다.
인천대학교의 이한보람 교수팀이 아주대학교의 오일권 교수팀과 협력하여 전자현미경의 코팅 장비 및 공정 기술을 개발했다. 이 기술은 주사전자현미경(SEM) 및 투과전자현미경(TEM)의 선명한 측정을 위한 3차원 전도성 코팅 방법이며, 이를 반도체 연구 장비를 생산하는 기업 씨엔원에 기술이전했다.
연구팀이 개발한 기술은 전자현미경 활용을 위한 전처리 장비의 핵심 기술로, 100℃ 이하의 저온에서 샘플 표면에 전도성금속 박막을 형성할 수 있는 원자층 증착 공정(ALD)을 활용한다. 이 기술을 통해 미세한 요철이 많거나 복잡한 3차원 구조에서도 전도성 박막을 얇고 균일하게 코팅할 수 있으며, 전자현미경 측정 시 샘플 표면의 변질이나 이미지 왜곡 없이 선명한 현미경 이미지를 얻을 수 있다.
씨엔원은 반도체 원자층증착(ALD) 연구 장비를 생산하는 반도체·디스플레이 전문 장비 회사로, 이번 기술이전을 통해 국내 반도체 시장에서 장비 국산화에 기여할 것으로 기대된다. 또한, 이 회사는 국내외 시장에서의 확장을 통해 글로벌 시장에서의 입지를 넓혀가고 있다.
이한보람 교수는 이번 기술에 대해 "더 작은 것을 더 정밀하게 볼 수 있게 해주는 장치"라고 설명하며, 나노미터 사이즈로 줄어드는 반도체 기술과 나노기술 발전에 중요한 요소 기술임을 강조했다. 인천대학교는 이번 기술이전을 통해 지역 및 국가산업 기술경쟁력 강화에 기여하고, 이를 바탕으로 한 지역산업연계 대학 Open-Lab 육성 지원 사업의 성과를 입증했다.
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