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영역-선택적 원자층 증착법을 이용한 박막의 선택적 증착방법 및 박막이 선택적으로 형성된 기판

기본정보

기술명: 영역-선택적 원자층 증착법을 이용한 박막의 선택적 증착방법 및 박막이 선택적으로 형성된 기판
발명자: 신소재공학과 이한보람 교수
출원번호: 10-2023-0034369

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담당자명: 이미정 계장
부서: 기술사업화팀
전화번호: 032-835-9766
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